特許
J-GLOBAL ID:200903051295632401
反射防止膜及び反射防止部材
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤本 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-241934
公開番号(公開出願番号):特開平7-072305
出願日: 1993年09月01日
公開日(公表日): 1995年03月17日
要約:
【要約】【目的】 波長域を有する光に対して2層の重畳数にても反射防止効果に優れて量産性に優れると共に、耐汚染性に優れて反射防止効果の持続性に優れる反射防止膜及び反射防止部材を得ること。【構成】 光学的膜厚が反射防止目的の波長域における中心波長の0.2〜0.3倍のフッ素含有層(1)と0.45〜0.55倍のY2O3層(2)との重畳層から少なくともなると共に、そのフッ素含有層を入射側表面に有してなり、前記フッ素含有層が厚さ100μmでの透過率80%以上、フッ素原子含有量60重量%以上、かつ屈折率1.40以下のフッ素含有化合物からなる反射防止膜、及びかかる反射防止膜を透明基材の少なくとも片側に有する反射防止部材。
請求項(抜粋):
光学的膜厚が反射防止目的の波長域における中心波長の0.2〜0.3倍のフッ素含有層と0.45〜0.55倍のY2O3層との重畳層から少なくともなると共に、そのフッ素含有層を入射側表面に有してなり、前記フッ素含有層が厚さ100μmでの透過率80%以上、フッ素原子含有量60重量%以上、かつ屈折率1.40以下のフッ素含有化合物からなることを特徴とする反射防止膜。
引用特許:
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