特許
J-GLOBAL ID：200903051304387814
プラズマ装置へのマイクロ波導入装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-270104
公開番号（公開出願番号）：特開平7-122396
出願日： 1993年10月28日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 複数のマイクロ波電源からのマイクロ波によってプラズマ装置内に大口径で均一なプラズマを発生させるマイクロ波導入装置を提供する。【構成】 マイクロ波の進行方向に設けられた複数のスロットアンテナ5,6,7の開口面積をマイクロ波進行方向に徐々に変化させることによって,真空容器3内へのマイクロ波導入の均等化とマイクロ波導入量分布の制御とを図る。開口面積をマイクロ波進行方向に変化させることにより,各スロットアンテナ5,6,7からのマイクロ波放射量が均等化又は調節ができ,これによって発生するプラズマの密度分布の均一化又は制御がなされる。
請求項（抜粋）：
マイクロ波電源と接続された複数の導波管を真空容器に設けられたマイクロ波導入窓の部分で接続し,上記マイクロ波電源から各導波管を経て伝播するマイクロ波を上記マイクロ波導入窓部分の各導波管に形成された複数のスロットアンテナから上記真空容器内に導入するプラズマ装置へのマイクロ波導入装置において,上記複数のスロットアンテナの開口面積を,上記マイクロ波の進行方向上流側から下流側に向けて徐々に変化させたことを特徴とするプラズマ装置へのマイクロ波導入装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, H01L 21/205
