特許

J-GLOBAL ID：200903051333904879

画像処理による検査方法

発明者： 吉田 春雄
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-231728
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079993
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 画像処理による検査方法において、ソフトウェア上のフーリエ変換などの演算による空間周波数フィルタリングの負担を軽減してスループットを向上させる。【解決手段】 ビデオカメラ2の後に非線形増幅器3が設置されている。この非線形増幅器3の利得を調整し、測定対象1の欠陥があらわれる電圧領域のみを拡大・強調し、それ以外の領域の利得をほぼゼロとする。

請求項（抜粋）：

測定対象を撮像し、光学的信号を光電変換器により電気信号に変え、該電気信号をA/D変換器によりアナログ/ディジタル変換してフレームメモリに取り込み、該フレームメモリに取り込まれた画像を処理して前記測定対象を検査する、画像計測による検査方法において、前記A/D変換器の前段に非線形増幅器を設置し、欠陥に対応する特定電圧領域の利得を向上させ、他の領域の利得をきわめて小さくして欠陥を強調することを特徴とする、画像処理による検査方法。