特許
J-GLOBAL ID：200903051336612879
スペクトル測定方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201650
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062041
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 各種の計測を始め、露光用光源としても狭帯域なスペクトルが要求される光源のスペクトルを評価する際、スペクトルの波長、線幅と同時に狭帯域化された光成分と非狭帯域光成分のエネルギー比を、簡易にしかも精度良く求める方法および装置を提供する。【構成】 ファブリペロ-エタロン1と、エタロンを透過した光を、イメージセンサ5上に結像させるような光学系3,4と、発散角を有するレーザ光がエタロンを透過した際に干渉によって生じるフリンジ信号を測定するセンサと、予め計算で求められるフリンジ信号、あるいはそのピークの光強度と一定な背景光強度の比と、測定で得られるフリンジ信号、あるいはそのピークの光強度と一定な背景光強度の比とを比較することにより、エタロンの自由スペクトル範囲より線幅の狭いレーザ光成分と、それより線幅の広いレーザ光成分のエネルギー比を計算する演算装置7とを備えている。
請求項（抜粋）：
ファブリペロ-エタロン、および前記エタロンを透過したレーザ光をイメージセンサ上に結像させる光学系より構成されるスペクトル測定装置において、発散角を有するレーザ光が前記エタロンを透過した際に干渉によって生じるフリンジ信号を測定するセンサと、予め計算で求められるフリンジ信号、あるいはそのピークの光強度と一定な背景光強度の比と、測定で得られるフリンジ信号、あるいはそのピークの光強度と一定な背景光強度の比とを比較することにより、前記エタロンの自由スペクトル範囲より線幅の狭いレーザ光成分と、それより線幅の広いレーザ光成分とのエネルギー比を計算する演算装置と、を備えたことを特徴とするスペクトル測定装置。
IPC (3件)：
G01J 3/28
, G01J 3/26
, G01M 11/00
