特許

J-GLOBAL ID：200903051336720078

単結晶引上げ装置

発明者： 近藤 総一郎
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社 ,  三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-013203
公開番号（公開出願番号）：特開2002-220296
出願日： 2001年01月22日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】 ヒータからルツボの側壁部への熱輻射に悪影響を及ぼすことなく、ルツボの内面劣化に伴う有転位化を抑制する。引上げ速度を増大させる。引上げ結晶を低酸素化する。【解決手段】 ルツボ3とルツボ受け皿7との間に断熱材9を介在させる。ルツボ3の底面と接しないルツボ受け皿7の表面の一部又は全部を断熱材で覆う。ヒータ4からルツボ3の底部への熱伝達が抑制され、ルツボ3の底部の温度上昇が抑制される。その影響として、ルツボ3の側壁部の温度も低下する。ルツボ3の内面全体でバランスよく劣化が抑制される。

請求項（抜粋）：

原料用の溶融液を収容する石英ルツボと、石英ルツボを内部に収容して保持する保持ルツボと、保持ルツボの底面部を面支持するルツボ受け皿と、ルツボ受け皿の底部を支持してルツボを昇降させる昇降軸とを備えた単結晶引上げ装置において、保持ルツボとルツボ受け皿との間に断熱材を介在させたことを特徴とする単結晶引上げ装置。

IPC (2件)：

C30B 29/06 502 ,  C30B 15/00

FI (2件)：

C30B 29/06 502 C ,  C30B 15/00 Z

Fターム (5件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG19 ,  4G077PA16