特許

J-GLOBAL ID：200903051340194690

欠陥検出装置

発明者： 門澤 文夫
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-356031
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156451
出願日： 2001年11月21日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 周囲との濃度差が小さい低コントラストの欠陥を、データ幅の大きなメモリ及び演算器を使用することなく検出することができる欠陥検出装置を提供する。【解決手段】 本発明は、被検査対象物(S)の欠陥を検出するための欠陥検出装置(1)において、被検査対象物を撮像する撮像手段(4)と、この撮像手段により撮像された被検査対象物における各画素の濃度値のデータを、所定の閾値に基づいて、少なくとも2種類の代表値に置き換えることによって情報を圧縮する情報圧縮手段(16)と、この情報圧縮手段によって代表値に置きかえられた濃度値のデータを、所定のブロック単位で積算フィルタ演算処理するフィルタ演算処理手段(18)と、このフィルタ演算処理手段によって処理された濃度値のデータを、所定の基準データと比較することによって被検査対象物の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段(22)と、を有することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

被検査対象物の欠陥を検出するための欠陥検出装置において、被検査対象物を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像された被検査対象物における各画素の濃度値のデータを、所定の閾値に基づいて、少なくとも2種類の代表値に置き換えることによって情報を圧縮する情報圧縮手段と、この情報圧縮手段によって代表値に置きかえられた濃度値のデータを、所定のブロック単位で積算フィルタ演算処理するフィルタ演算処理手段と、このフィルタ演算処理手段によって処理された濃度値のデータを、所定の基準データと比較することによって被検査対象物の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と、を有することを特徴とする欠陥検出装置。

IPC (3件)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 300

FI (3件)：

G01N 21/892 Z ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 300

Fターム (65件)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB13 ,  2F065BB23 ,  2F065BB24 ,  2F065CC02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD07 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG14 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL03 ,  2F065MM03 ,  2F065NN03 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33 ,  2F065SS07 ,  2F065SS09 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2G051AA32 ,  2G051AA34 ,  2G051AA37 ,  2G051AA40 ,  2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA01 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED03 ,  2G051FA10 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CE05 ,  5B057CE06 ,  5B057CE11 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22 ,  5B057DC33