連続蒸着方法およびその装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高島一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-111935
公開番号（公開出願番号）：特開平6-322521
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】【目的】均一な組成、特性をもつ蒸着膜を連続的に作製しうる連続蒸着方法およびその装置を提供することである。【構成】蒸着原料を蒸着膜を構成する組成の少なくとも2以上に分けて蒸発させ、かつ分けた蒸着原料を蒸着源の加熱面に対して下から連続的に、あるいは独立かつ連続的に供給することを特徴とする連続蒸着方法。少なくとも1つの加熱源と、蒸着原料を組成別の少なくとも2以上に分けてなる蒸着源とよりなり、かつ組成別の蒸着原料が蒸着源の加熱面に対して下から連続的に、あるいは独立かつ連続的に供給される構成をもち、さらには基材を連続的に走行させる装置を併設することを特徴とする連続蒸着装置。

請求項（抜粋）：