特許
J-GLOBAL ID：200903051344954223
気密検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-257079
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079935
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 気密検査を高精度に行い、試験液等の影響によって微少な漏れ量の検出が困難になる等の問題を解消できるようにする。【解決手段】 検査治具としての定積槽7に噴射弁1を気密状態にセットした後に、真空機器9を作動させることによって定積槽7内の圧力を真空圧状態まで下げる。そして、圧力センサ20で定積槽7内の圧力が予め決めた設定値(真空圧)に達したか否かを検出し、定積槽7内の圧力がこの設定値まで下がった状態では真空機器9(真空弁11)の作動を停止させると共に、噴射弁1の流入口3側から噴射弁1内に高圧設定されたエアを供給する。そして、流入口3側から噴射弁1内に高圧のエアを一定時間に亘って供給した状態で、圧力センサ20から定積槽7内の圧力値を読込むことにより、定積槽7内の圧力変化から噴射弁1が気密状態にシールされているか否かを判定する。
請求項（抜粋）：
検査対象物用の取付部を備え密閉容器として形成された検査治具と、該検査治具の取付部に前記検査対象物をセットした状態で該検査治具内に真空圧を発生させる真空圧発生手段と、該真空圧発生手段を停止した状態で前記検査対象物内に外部から高圧の気体を供給する高圧供給手段と、該高圧供給手段によって前記検査対象物内に高圧気体を供給する前,後で、前記検査治具内の圧力をそれぞれ検出する圧力検出手段と、該圧力検出手段による圧力の検出結果に基づいて前記検査対象物の気密判定を行う気密判定手段とから構成してなる気密検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 3/32 A
, G01M 3/04 H
