特許
J-GLOBAL ID:200903051345698301
リタデ-ション測定法及びそれを用いた偏光干渉計
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-031413
公開番号(公開出願番号):特開2000-205813
出願日: 1999年02月09日
公開日(公表日): 2000年07月28日
要約:
【要約】【課題】 不必要な偏光成分が存在する光学部品により構成された偏光干渉計によるリタデーション測定においても精度良いリタデーション測定値が得られる。【解決手段】 異なった偏光状態を持つ2つの光波を合成しウォラストンプリズム5で干渉させて2つの光波のリタデーションを検出する方法において、使用する偏光干渉計を構成する光学部品である光線分割器3の偏光特性値を補償する計算式を用いて2つの光波のリタデーションを算出するようにした。その偏光特性値には、その光学部品の偏光透過率、偏光反射率又はリタデーションを含む。
請求項(抜粋):
異なった偏光状態を持つ2つの光波を合成し干渉させて前記2つの光波のリタデーションを検出する方法において、使用する偏光干渉計を構成する光学部品の偏光特性値を補償する計算式を用いて前記2つの光波のリタデーションを算出するようにしたことを特徴とするリタデーション測定法。
Fターム (10件):
2F064DD00
, 2F064FF01
, 2F064FF03
, 2F064FF05
, 2F064FF07
, 2F064GG33
, 2F064GG34
, 2F064GG39
, 2F064GG42
, 2F064HH03
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