特許

J-GLOBAL ID：200903051348251197

アライメントマーク位置検出装置

発明者： 原口 浩志 ,  秋山 龍雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-054628
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259027
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】良好なアライメント信号波形を得ることによって、高精度のアライメントが可能なアライメントマーク位置検出装置を提供する。【構成】アライメントマーク位置検出装置において、光学系2とディテクタ8との光路間にBaTiO3単結晶或いはLiNbO3単結晶の波形整形部材9を設け、アライメントマーク4からの乱れた回折光及び散乱光5を良好なアライメントマーク信号波形に変換するようにしたアライメントマーク検出装置

請求項（抜粋）：

レーザー光を発生する発生源と、レンズ及びハーフミラーからなり前記発生源からのレーザー光を集束し、半導体基板のアライメントからの回折光及び散乱光を偏向する光学系と、前記光学系からのレーザー光を半導体基板に照射する投影レンズと、前記半導体基板のアライメントマークから放射され、前記光学系で偏向された回折光及び散乱光を集束させる空間フィルタと、前記空間フィルタを介して得られた回折光を検出するディテクタと、前記光学系と前記ディテクタとの光路間に配置され、位相共役波を発生しそれを増幅単結晶からなる波形整形部材とを具備することを特徴とするアライメントマーク位置検出装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68