特許
J-GLOBAL ID：200903051350160786
非接触変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-069302
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271231
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】 参照データの更新の頻度が高くなっても、一方向への変位ではなく、ある領域を繰り返し変位するような場合において、参照データの更新に伴う誤差の累積を大幅に少なくできる非接触変位計を提供する。【構成】 複数の参照データを記憶手段7に記憶するようにし、演算手段6の演算によるスペックルパターンの移動量が規定量に達して参照データの更新が必要となったとき、記憶手段7内の過去の参照データのうち、現サンプリングデータに近いものを選択して再び参照データとして採用することで、参照データの更新に伴う誤差が累積されないようにする。
請求項（抜粋）：
被測定試料にレーザ光を照射するレーザ光照射光学系と、そのレーザ光の被測定試料の表面による散乱光を受光して、その散乱光に含まれるスペックルパターンを検出するイメージセンサと、そのイメージセンサの出力を用いて、所定の時刻に検出したスペックルパターンデータを参照データとして、他の時刻に検出したスペックルパターンデータとの相互相関関数を算出することにより、その間におけるスペックルパターンの移動量を求めて被測定試料の変位情報を得るとともに、スペックルパターンの移動量が規定量に達した時点で、参照データとして用いるスペックルパターンデータを更新する演算手段を備えた変位計において、複数の参照データを記憶する記憶手段を備えるとともに、上記演算手段は、参照データの更新に際して、上記複数の参照データのなかから、最新のスペックルパターンに近いデータを選択し、その選択したデータを以後の参照データとして用いるよう構成されていることを特徴とする非接触変位計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/16 G
, G01B 11/00 G
