特許
J-GLOBAL ID：200903051350314120
微細線状欠陥の検出方法及びその装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-202022
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048152
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 対象物の抽出ごとにパラメータの変更を行うことなく線状の欠陥を精度良く抽出できる微細線状欠陥の検出方法及びその装置を提供する。【解決手段】 検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する方法において、画像に正規化処理を施した後、その正規化画像より多重多段階スライス法にて、ノイズ42を除去できる低いしきい値T1 で2値化したときの線状欠陥41aとつらなる多段階の濃度範囲(T1 〜T4 )の線状欠陥41b,d,fを統合してこれを線状欠陥候補41iとして検出し、さらに局所欠陥領域の結合と大局的欠陥領域の結合により微細線状欠陥を検出する方法である。
請求項（抜粋）：
検出対象物を撮像した画像より微細線状欠陥を検出する方法において、画像に正規化処理を施した後、ノイズを除去できる低いしきい値で2値化した領域を初期の核とし、多段階の濃度範囲で2値化した領域が、核領域と近接していれば核領域に反復的に統合する多重多段階スライス法を用いて線状欠陥候補を検出することを特徴とする微細線状欠陥の検出方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/89 B
, G01N 21/89 A
, G01B 11/30 G
