特許

J-GLOBAL ID：200903051352683085

モデルパラメータのキャリブレーション方法およびキャリブレーション装置

発明者： 林 洋一
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-130035
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321485
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 物理的に正確なモデルパラメータの値を抽出する。【解決手段】 第1格納部10は、指定情報、及び各工程のプロセス条件を格納する。第2格納部12は、プロセス特性値及びモデルパラメータの値を格納する。第3格納部14は、各工程後に測定したプロセス特性値の測定結果を格納する。プロセスシミュレータ16は、第1格納部10及び第2格納部12に格納されている情報を用いて各工程のシミュレーションを行い、プロセス特性値の計算結果を出力する。第1比較部22は、プロセスシミュレータ16の出力結果と第3格納部14から読出した情報とを比較する。第1調節部24は、第1比較部22の出力結果に応じて第2格納部12に格納されているモデルパラメータの値を調節する。第3読出部26は、指定情報及び第1比較部22の出力結果に基づいて第3格納部14に格納されている情報をシミュレーション後に読出し、この情報を格納されているプロセス特性値の代りに第2格納部12に格納する。

請求項（抜粋）：

被測定ウエハにデバイスを形成するための一連の工程に属するある先行工程に起因して生じるプロセス特性値の変化をシミュレーションによって予測するときに用いるモデルパラメータのキャリブレーションを、前記プロセス特性値の初期値と、前記モデルパラメータの初期値と、前記先行工程のプロセス条件とを用いて前記シミュレーションを行い、該先行工程後のプロセス特性値を計算するステップと、前記先行工程後のプロセス特性値を測定するステップと、前記先行工程後のプロセス特性値の計算結果および測定結果の比較を行うステップと、該比較結果に応じて前記先行工程後のプロセス特性値の計算結果および測定結果の合せ込みを行い、前記モデルパラメータの値を調節するステップとをもって行うモデルパラメータのキャリブレーション方法において、前記先行工程に続く後行工程のシミュレーションを、前記先行工程後のプロセス特性値の測定結果と、前記調節したモデルパラメータの値と、該後行工程のプロセス条件とを用いて行うことを特徴とするモデルパラメータのキャリブレーション方法。