特許
J-GLOBAL ID：200903051354900466
露光装置および露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254669
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112103
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 露光装置間のレンズディストーションによるずれ量を低減させることによって重ね合せ精度を向上させる。【構成】 ウェハ2の周縁部の所定位置に各露光装置特有のマークを形成するための周辺露光装置9と、この周辺露光装置によって形成されたマークの形を画像認識するためのセンサ部17と、センサ部17で認識された画像情報によって各露光装置を識別するための画像処理部10と、予め各露光装置のディストーションデータが入力されているメモリ部11bと、画像処理部10によって識別されたディストーションデータと、現在露光を行なうとしている露光装置のディストーションデータとを比較するための演算部11aと、この演算部11aによって得られた情報に基づいて、現在露光を行なおうとしている露光装置における投影レンズ5にかける圧力を制御するための圧力制御手段13が設けられている。
請求項（抜粋）：
ウェハ周縁部の所定位置に各露光装置特有のマークを形成するための周辺露光装置と、前記周辺露光装置によって形成されたマークの形を画像認識するためのセンサ部と、前記センサ部で認識された画像情報によって各露光装置を識別するための画像処理部と、予め各露光装置のディストーションデータが入力されているメモリ部と、前記画像処理部によって識別された第1露光装置のディストーションデータと、第2露光装置のディストーションデータとを比較するための比較手段と、前記比較手段によって得られた情報に基づいて前記第2露光装置の投影レンズにかける圧力を制御するための圧力制御手段と、を備えた露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/22
, G03F 9/02
