特許
J-GLOBAL ID：200903051362847728
クリーン装置付き収納設備
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 善▲廣▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-072941
公開番号（公開出願番号）：特開平6-255710
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月13日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 前面と後面を開放した収納部の後面側に側面チャンバー6を配置し、該側面チャンバー6にフィルタ5bと複数個のファン5aからなるファンフィルタユニット8を配設してなるクリーン装置付き収納設備において、天井側に前記側面チャンバー6に連通される上面チャンバー7を設け、該上面チャンバー7に前記ファン5aよりも高いエア圧力を形成可能なファンを備えたファンフィルタユニット8を配設したことを特徴とする。【効果】 本発明のクリーン装置付き収納設備によれば、側面チャンバーのファン同士の緩衝を防止でき、その結果、収納設備の上下全域に亘って必要な風速を得ることができる。
請求項（抜粋）：
前面と後面を開放した収納部の後面側に側面チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィルタと複数個のファンからなるファンフィルタユニットを配設してなるクリーン装置付き収納設備において、天井側に前記側面チャンバーに連通される上面チャンバーを設け、該上面チャンバーに前記ファンよりも高いエア圧力を形成可能なファンを備えたファンフィルタユニットを配設したことを特徴とするクリーン装置付き収納設備。
IPC (2件)：
引用特許：
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