感光性ガラスペースト組成物

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：栗原浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-193008
公開番号（公開出願番号）：特開2000-029210
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】フォトリソグラフィーによる高解像度パターニングが可能であり、保存安定性に優れた、感光性ガラスペースト組成物を提供する。【解決手段】低融点ガラス粉末、有機高分子化合物、重合性モノマー、光重合開始剤を含有する組成物において、有機高分子化合物として、N,N-2置換(メタ)アクリルアミド、またはN-1置換(メタ)アクリルアミドを構成成分とすると共に酸性官能基及びその塩を含有せず且つ水系現像液で現像可能な高分子化合物、及びセルロース系水溶性高分子からなる群から選択される少なくとも一種を主成分として用い、前記重合性モノマーとして、エポキシ化合物の(メタ)アクリル酸付加物で水可溶性のものを必須成分として用いる。

請求項（抜粋）：

低融点ガラス粉末、有機高分子化合物、重合性モノマー、光重合開始剤を含有する組成物において、有機高分子化合物として、N,N-2置換(メタ)アクリルアミド、またはN-1置換(メタ)アクリルアミドを構成成分とすると共に酸性官能基及びその塩を含有せず且つ水系現像液で現像可能な高分子化合物、及びセルロース系水溶性高分子からなる群から選択される少なくとも一種を主成分として用い、前記重合性モノマーとして、エポキシ化合物の(メタ)アクリル酸付加物で水可溶性のものを必須成分として用いることを特徴とする感光性ガラスペースト組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 515 , G03F 7/004 501 , G03F 7/033 , H01J 9/02 , H01J 9/227 , H01J 11/02

FI (6件)：

G03F 7/027 515 , G03F 7/004 501 , G03F 7/033 , H01J 9/02 F , H01J 9/227 E , H01J 11/02 B

Fターム (13件)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA11 , 2H025AB13 , 2H025BC31 , 2H025BC83 , 2H025CB04 , 2H025CB15 , 2H025CC20 , 5C027AA09 , 5C028FF16 , 5C040DD09 , 5C040DD13

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