特許
J-GLOBAL ID:200903051365052300
位相調整回路、スケール信号発生回路および位置測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 隆久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-113239
公開番号(公開出願番号):特開2000-304570
出願日: 1999年04月21日
公開日(公表日): 2000年11月02日
要約:
【要約】【課題】位置測定装置における位相調整で、位相誤差をキャンセルし位相差90度の信号が得られるようにして、短波長化による分解能の向上を図る。【解決手段】位相が異なる2つの検出信号Ss,Scにもとづいて、位相差が90度の1対の信号を生成する位相調整回路であって、少なくとも一方の検出信号の振幅を所定のレベルに調整する入力レベル調整部3と、レベル調整後の2つの検出信号に対し、加算、減算の少なくとも一方の演算を含む信号処理を行い、位相差が90度の1対の出力信号、または、他方の検出信号との位相差が90度の単一の出力信号を生成する信号処理部4とを有する。スケール信号発生回路は、さらに、出力レベル調整部5およびスケール信号生成部6を備える。位置測定装置は、さらに、検出部2s,2c、A/D変換部7および記憶部8を備える。
請求項(抜粋):
位相が異なる2つの入力信号にもとづいて、位相差が90度の1対の信号を生成する位相調整回路であって、上記2つの入力信号の振幅を所定のレベルに揃える入力レベル調整部と、振幅レベルを揃えた後の上記2つの入力信号を加算処理し、和信号を出力する加算部と、振幅レベルを揃えた後の上記2つの入力信号を減算処理し、上記和信号と位相が90度異なる差信号を出力する減算部とを有する位相調整回路。
IPC (5件):
G01D 5/245 102
, G01D 5/245
, G01B 7/00
, G01D 5/34
, H03L 7/00
FI (5件):
G01D 5/245 102 D
, G01D 5/245 102 G
, G01B 7/00 C
, H03L 7/00 A
, G01D 5/34 Q
Fターム (34件):
2F063AA02
, 2F063AA35
, 2F063CA09
, 2F063CB20
, 2F063DA05
, 2F063DD03
, 2F063EA02
, 2F063EA03
, 2F063KA02
, 2F063KA04
, 2F063LA11
, 2F063LA19
, 2F063LA22
, 2F063LA23
, 2F077AA11
, 2F077CC02
, 2F077QQ05
, 2F077TT31
, 2F103BA00
, 2F103CA01
, 2F103CA02
, 2F103CA05
, 2F103EB01
, 2F103EB12
, 2F103EB16
, 2F103ED01
, 2F103ED11
, 2F103ED27
, 2F103FA01
, 5J106AA03
, 5J106DD01
, 5J106DD05
, 5J106DD13
, 5J106KK05
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