特許
J-GLOBAL ID：200903051366453759
湿度センサおよび湿度測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-095621
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280767
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 感温部と感湿部との温度差をなくし、正確な温度補償を行なってセンサの湿度検出精度を向上させる。【構成】 電気絶縁性基板1の表面に、湿度および温度に応じて特性値が変化する感湿体2を一対の電極31、32間に配した感湿部Aと、温度に応じて特性値が変化する感温体4を他の一対の電極51、52間に配した感温部Bとを設けた。感湿部Aと感温部Bが同一の基板1上にあるので両者の間に温度差がなく、上記感温部Bの出力に応じて上記感湿部Aの出力を補正することにより、雰囲気湿度を正確に検出することができる。
請求項（抜粋）：
電気絶縁性基板の表面に、湿度および温度に応じて特性値が変化する感湿体を一対の電極間に配した感湿部を設け、上記基板の他の表面には、温度に応じて特性値が変化する感温体を他の一対の電極間に配して、上記感湿部の温度補償を行う感温部となしたことを特徴とする湿度センサ。
IPC (3件)：
G01N 27/12
, G01N 27/04
, B60S 1/02
