特許

J-GLOBAL ID：200903051375422165

基板処理装置および基板処理方法

発明者： 荒木 浩之
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (2件)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-067123
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281464
出願日： 2003年03月12日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】基板に供給される複数種の処理液の混合比にばらつきが生じることを防止する。【解決手段】薬液と純水との混合液を作成するためのミキシングバルブ4には、純水導入路5と薬液導入路6とが接続されている。純水導入路5には、吸引/吐出路56が分岐接続されており、この吸引/吐出路56には、純水導入路5に一定流量で純水を送り出すための純水用シリンジ57が接続されている。一方、薬液導入路6には、吸引/吐出路65が分岐接続されており、この吸引/吐出路65には、薬液導入路6に一定流量で薬液を送り出すための薬液用シリンジ66が接続されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板に対して第1処理液と第2処理液との混合液を供給して処理を施す基板処理装置であって、 基板を保持しつつ回転させる基板回転手段と、 この基板回転手段によって回転される基板に第1処理液と第2処理液との混合液を供給するためのノズルと、 このノズルに向けて供給される第1処理液が流通する第1処理液供給路と、 上記ノズルに向けて供給される第2処理液が流通する第2処理液供給路と、 上記第1処理液供給路に接続されていて、その第1処理液供給路に第1処理液を送り出すための第1処理液用シリンジと を含むことを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

H01L21/306 ,  B08B3/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

FI (5件)：

H01L21/306 J ,  B08B3/02 B ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 648K ,  H01L21/30 569C

Fターム (18件)：

3B201AA01 ,  3B201AB33 ,  3B201AB47 ,  3B201BB02 ,  3B201BB22 ,  3B201BB38 ,  3B201BB62 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CC13 ,  3B201CD43 ,  5F043DD13 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE29 ,  5F046LA03 ,  5F046LA04 ,  5F046LA12