特許

J-GLOBAL ID：200903051379641937

オンチップレンズの製造方法

発明者： 大平 喜恵 ,  船橋 博文 ,  樹神 雅人
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 小玉 秀男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-038496
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243913
出願日： 2001年02月15日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 半導体基板の表面に位置精度良く、所望の形状を持ったオンチップレンズを製造する。【解決手段】 基板2の表面に透明膜6を成膜し、その膜6を局所的に残して除去し、CVD法によって透明膜8をさらに成膜することによってオンチップレンズを製造する。局所的に残った膜の頂部が丸められ、ほぼ球状のレンズが簡単に製造できる。

請求項（抜粋）：

基板表面に透明材料で成膜し、その膜を局所的に残して除去し、透明材料でさらに成膜して基板表面にオンチップレンズを製造する方法。

IPC (4件)：

G02B 3/00 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

G02B 3/00 Z ,  G03F 7/20 501 ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D

Fターム (18件)：

2H097CA11 ,  2H097GB00 ,  2H097LA11 ,  2H097LA15 ,  2H097LA17 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118EA01 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  4M118GD07 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31