特許

J-GLOBAL ID：200903051384052770

繰返しパターンの欠陥検査装置

発明者： 依田 晴夫 ,  大内 洋三 ,  酒匂 裕
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325194
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264467
出願日： 1983年04月15日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 わずかな位置ずれも補正して、比較すべき2つの映像信号の撮像条件をできるだけ完全に一致させて、精度の良い検査を行うことである。【構成】 1台の撮像装置10から被検査物の映像信号を取り込み、取り込んだ映像信号を繰返しパターンのピッチ分遅らせる遅延手段12と、繰返しパターンピッチ分遅らされた映像信号とその時点での映像信号を比較する比較手段13を備えた繰返しパターンの欠陥検査装置において、上記の2つの映像信号の空間的に対応する位置ずれを検出して、位置ずれが最適になるように遅延手段で遅らせる量を調節する位置ずれ検出手段18とを備えて、繰返しパターンの欠陥を検査するものである。

請求項（抜粋）：

被検査物を走査して映像信号を得る撮像手段を備えて、繰返しパターンが所定ピッチにて配列された被検査物の外観を検査する繰返しパターンの欠陥検査装置において、上記撮像手段により得た映像信号を多値のディジタル信号に変換する変換手段と、上記変換手段により変換された多値のディジタル信号を上記繰返しパターンのピッチ分遅らせる遅延手段と、上記遅延手段にて遅らされた第1の多値のディジタル信号とその時点で変換された第2の多値のディジタル信号とを比較する比較手段と、上記第1および第2の多値のディジタル信号の空間的に対応する位置ずれを検出して、上記位置ずれが最適になるように上記遅延手段で遅らせる量を調節する位置ずれ検出手段とを備え、上記繰返しパターンの欠陥を検査することを特徴とする繰返しパターンの欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭56-162037
  
• 特開昭55-074409