特許

J-GLOBAL ID：200903051385636392

低反射薄膜基板、カラーフィルタ基板および液晶ディスプレイ

発明者： 藤田 達也 ,  佐藤 崇 ,  迫野 郁夫
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-197851
公開番号（公開出願番号）：特開2000-029006
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 環境上問題が無く、充分な遮光性と低反射性、優れた耐薬品性と耐食性を有するブラックマトリクスを備えたカラーフィルタを、膜欠損不良等を生じずに安価に作製する。【解決手段】 透明基板101上に窒化タンタルからなる反射防止膜102と、タンタルまたは窒化タンタルからなる遮光膜103を基板側からこの順に積層してブラックマトリクスをパターン形成する。

請求項（抜粋）：

透明基板上に、窒化タンタルからなる第1層膜と、タンタル又は窒化タンタルからなる第2層膜とが、該透明基板側からこの順に積層されている低反射薄膜基板。

IPC (5件)：

G02F 1/1333 500 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 ,  G09F 9/30 349

FI (5件)：

G02F 1/1333 500 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 ,  G09F 9/30 349 B ,  G02B 1/10 A

Fターム (36件)：

2H048BA42 ,  2H048BB02 ,  2H048BB14 ,  2H048BB26 ,  2H048BB44 ,  2H090HB06X ,  2H090JB02 ,  2H090JD06 ,  2H090LA04 ,  2H090LA15 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC02 ,  2H091GA13 ,  2H091LA12 ,  2K009AA02 ,  2K009BB02 ,  2K009CC02 ,  2K009DD04 ,  2K009DD12 ,  5C094AA02 ,  5C094AA11 ,  5C094AA16 ,  5C094AA31 ,  5C094AA60 ,  5C094BA43 ,  5C094DA13 ,  5C094ED02 ,  5C094ED12 ,  5C094ED15 ,  5C094GB01 ,  5C094HA06 ,  5C094HA08 ,  5C094JA08 ,  5C094JA12 ,  5C094JA13