特許
J-GLOBAL ID：200903051390269861
電子放出源の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-203249
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036243
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：
【要約】【課題】 耐性がありより多くの電子を放出させることができる電子放出源をより容易に作製できるようにする。【解決手段】 印刷パターン140表面にレーザを照射することで、表面の銀粒子133およびバインダー132を選択的に除去し、バンドル134を露出させる。加えて、このレーザ照射により、露出したバンドル134表面においてカーボンナノチューブ135が露出した状態とする。
請求項（抜粋）：
導電性を有する粘性溶液に複数のカーボンナノチューブが集合して構成されたバンドルを分散させたバンドルペーストを用意し、このバンドルペーストからなるパターンを基板上に形成する第1の工程と、前記パターン表面にレーザを照射することにより、前記パターン表面においては前記バンドル以外の物質を選択的に除去し、加えて、そのバンドルの表面においては前記カーボンナノチューブ以外の炭素成分を選択的に除去して前記カーボンナノチューブより電子を放出する電子放出源を形成する第2の工程とを備えたことを特徴とする電子放出源の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
