特許

J-GLOBAL ID：200903051404387030

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 北條 泰広
出願人/特許権者： 京セラケミカル株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-296388
公開番号（公開出願番号）：特開2005-062764
出願日： 2003年08月20日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】 紫外線等の活性光線にて露光が可能な、半導体素子表面に成膜され、絶縁保護膜となるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 (A)例えば化1などに示されるアルカリ可溶なフェノール樹脂、 【化1】(B)次の繰返し単位で示されるアミド酸重合体、 【化2】(但し、式中、R1 はジアミノジフェニルエーテルやビスアミノプロピルテトラメチルジシロキサンなどのジアミン残基を、R2 はベゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などのテトラカルボン酸残基を、nは2〜100の整数をそれぞれ表す)(C)ナフトキノンジアジド系感光剤、(D)2,6-ジメチロール-p-クレゾールなどの多官能メチロール化合物および(E)N-メチルピロリドンなどの溶剤を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶なフェノール樹脂、 (B)次の繰返し単位で示されるアミド酸重合体、

IPC (4件)：

G03F7/037 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/037 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/075 521 ,  H01L21/30 502R

Fターム (13件)：

2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB29 ,  2H025CB33 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA39