特許
J-GLOBAL ID：200903051415983963
集積型SPMセンサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-045639
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218210
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】 AFM測定とSNOM測定とを同時に行えると共に、液中での測定を容易に行えるようにした集積型SPMセンサを提供する。【解決手段】 支持部から伸びたn型シリコンからなる片持ち梁101 の先端部に、親水性の窒化シリコンからなる探針102 を設け、該探針102 の裏面には遮光性材料122 を形成する。そして、該探針102 の基部周辺の片持ち梁101 にp型不純物拡散領域105 を形成し、p+ 型不純物拡散領域106 を介して電極126 を設け、更にp型不純物拡散領域105 から離れた片持ち梁101 上にn+ 型不純物拡散領域107 を形成して電極127 を設け、片持ち梁全体を酸化シリコン膜110 で覆い、集積型SPMセンサを構成する。
請求項（抜粋）：
片持ち梁の支持部と、該支持部より延びるように配置されたシリコン製の片持ち梁と、該片持ち梁の自由端において、該片持ち梁に対して前記支持部と反対側である表面に突出形成した窒化シリコン製の探針とを備え、前記片持ち梁の探針周辺部に半導体光センサを設けて、前記探針の先端部から取り込んだニアフィールド光を前記探針周辺部に設けた半導体光センサで検出するように構成したことを特徴とする集積型SPMセンサ。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
G01N 37/00 G
, G01N 37/00 E
, G01B 21/30 Z
, H01J 9/14 Z
, H01J 37/28 Z
