特許
J-GLOBAL ID：200903051419469342
非接触式ワーク浮上搬送用構造体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
景山 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204418
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021949
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 搬送ガイドや特別な外力付与機構を設けることなく、簡単な構成で平板状のワークを方向性良く確実にクリーンな状態で搬送する。【解決手段】 浮上搬送プレートは、吹き出される空気でLCDガラス基板等のワークWを浮上させて搬送させるように構成されていて、箱状体1、傾斜ノズル2、ガイド部3等を備えている。ワークWの両端とガイド部3との間隔cを例えば搬送面12aからのワークの浮上量hと同程度に設定する。【効果】 ワークが偏って左右のガイドとの距離が変化すると、ワーク下の圧力が変化してワークが傾き、ワークをセンタリングする力が発生し、ガイド部との接触が防止され、ワークはクリーンに搬送される。
請求項（抜粋）：
搬送方向に平行な両側面を持つ平板状のワークを搬送面に明けられた複数の穴から気体を吹き出して前記両側面を通過させつつ浮上させて搬送させるワーク浮上搬送用構造体において、前記両側面との間で所定の間隔であって前記両側面を通過する気体に通過抵抗を与える間隔を持つように配設される案内部材を有することを特徴とするワーク浮上搬送用構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 51/03 D
審査官引用 (2件)
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特開昭53-102581
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特開昭53-102581
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