特許
J-GLOBAL ID：200903051420260260
光スイッチ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304969
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119129
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 基板面に垂直なミラーを静電力で駆動することにより、簡素な構造で小型化、低損失化が可能であり、かつ低電圧駆動が可能で、高速応答性に優れた光スイッチを実現する。【解決手段】 基板10と、該基板10上に形成されていて当該基板表面に対して垂直方向に可動なミラー56と、該基板10に形成された光ファイバーを固定するためのファイバー配置溝60とを有し、前記ミラー56が前記基板10と弾性変形可能な梁52,53を介して接続されており、静電力が加わらない状態では前記基板10から離れた位置にあり、静電力により前記基板方向に引き寄せられる構成である。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に形成されていて当該基板表面に対して垂直方向に可動なミラーと、該基板に形成された光ファイバーを固定するためのファイバー配置溝とを有する光スイッチであって、前記ミラーが静電力により駆動されることを特徴とする光スイッチ。
FI (2件)：
G02B 26/08 F
, G02B 26/08 E
