特許
J-GLOBAL ID：200903051424670730
石英ガラスルツボとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-159602
公開番号（公開出願番号）：特開平8-002932
出願日： 1994年06月20日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：
【要約】【構成】石英ガラスルツボ内表面の深さ1mm以内に結晶化促進剤の塗布膜または固溶層が存在することを特徴とする石英ガラスルツボおよび前記石英ガラスルツボの製造方法。【効果】本発明の石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶の引上げを行うと、ルツボ内表面に結晶層が形成され、耐熱性が向上し、例えば減圧下でシリコン単結晶の引上げを行っても、内表面が荒れず、平滑さが維持され、結晶化率よく長時間の引上げができる。しかも前記本発明の石英ガラスルツボの製造方法はその内表面に2a族元素の塗布膜または3b族元素の固溶層を形成すという簡便な方法であり工業的に有利な製造方法である。
請求項（抜粋）：
石英ガラスルツボ内表面の厚さ1mm以内に結晶化促進剤含有塗布膜または固溶層が形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボ。
IPC (3件)：
C03B 20/00
, C30B 15/10
, C30B 29/06
