特許
J-GLOBAL ID:200903051427180505
傷検査用光源及び傷検査用光源ユニット
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
油井 透 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-350293
公開番号(公開出願番号):特開2000-171401
出願日: 1998年12月09日
公開日(公表日): 2000年06月23日
要約:
【要約】【課題】 被検査物の側面全周方向から照明することができ、被検査物を載置する方向に拘わらず、適正な検査が行えるようにする。【解決手段】 水平で透明な載置台2上に水晶ブランク1を載置する。環状に発光ダイオード20Aを配列して構成した下方光源20より、出射光を斜め下方から載置台2を透過させて水晶ブランク1に集中させる。同時に、環状に発光ダイオード21Aを配列して構成した側方光源21より、出射光を水平方向から中心位置にある水晶ブランク1に集中させる。そして、垂直上方から水晶ブランク1をCCDカメラ13で撮像し、その画像により傷の有無を判別する。
請求項(抜粋):
水平で透明な載置台上に載置された被検査物の側面全周方向から被検査物に対して散乱光を照射する傷検査用光源であって、前記載置台の中央部の斜め下側に位置させて多数の発光ダイオードを環状に列設し、それにより、これら各発光ダイオードの出射光を斜め下方から載置台を透過させて被検査物に集中させる下方光源と、前記載置台の水平方向周囲に多数の発光ダイオードを環状に列設し、それにより、これら各発光ダイオードの出射光を水平方向から載置台上の被検査物に集中させる側方光源とを備えたことを特徴とする傷検査用光源。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 21/84 E
, G02B 21/06
Fターム (20件):
2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051BB01
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB02
, 2G051CB05
, 2G051CC09
, 2G051CC20
, 2H052AC04
, 2H052AC05
, 2H052AC06
, 2H052AC17
, 2H052AC33
, 2H052AC34
, 2H052AD13
, 2H052AD14
, 2H052AF13
, 2H052AF14
, 2H052AF25
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