特許
J-GLOBAL ID：200903051428380745
空気軸受スピンドル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-200150
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047351
出願日： 1996年07月30日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【課題】 温度によるセンサ出力ドリフトを除去し得る空気軸受スピンドルを提供する。【解決手段】 主軸1を静圧軸受2によってハウジング3内で支持し、モータ4によって主軸1を回転駆動し、主軸1の一端側には主軸1に対向してセンサコイル9を設け、この近傍にダミーターゲット11に対向してダミーコイル10を配置し、センサコイル9からの出力からダミーコイル10の出力を減算することにより、温度ドリフトを除去し、温度変動に影響されない主軸の変位検出信号を出力する。
請求項（抜粋）：
空気軸受によって主軸をハウジング内で支持するスピンドルの前記主軸の変位を検出する空気軸受スピンドルにおいて、前記スピンドルに設けられ、主軸の変位を検出する変位センサ、前記変位センサの近傍に設けられ、前記変位センサの温度ドリフトを除去するための疑似センサ、および前記疑似センサの出力に基づいて、前記変位センサの出力から温度ドリフトを除去して前記主軸の変位を示す信号を出力する検出回路を備えた、空気軸受スピンドル。
IPC (6件)：
F16C 32/06
, B23B 19/02
, B23B 25/06
, B23Q 23/00
, G01B 7/00
, G01B 21/00
F16C 32/06 C
, B23B 19/02 Z
, B23B 25/06
, B23Q 23/00
, G01B 7/00 D
, G01B 21/00 A
