特許
J-GLOBAL ID:200903051435125335
機能液供給装置、およびこれを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
落合 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-353218
公開番号(公開出願番号):特開2006-159073
出願日: 2004年12月06日
公開日(公表日): 2006年06月22日
要約:
【課題】 本発明は、チューブの総延長を極力短くした機能液供給装置を提供することを課題としている。【解決手段】 機能液供給装置6は、機能液タンク43と、機能液タンク43と機能液滴吐出ヘッド3とを接続する機能液供給チューブ44と、これに介設され大気に面したダイヤフラム75により弁体76を開閉動作させて圧力調整する圧力調整弁46と、を備え、機能液供給チューブ44は、機能液タンク43と1次室70とを接続するタンク側チューブ58と、2次室79と機能液滴吐出ヘッド3とを接続するヘッド側チューブ61とを有し、ヘッド側チューブ61は、2次室に接続した単一のヘッド側メインチューブ121と、複数の機能液滴吐出ヘッドの直近でヘッド側メインチューブから分岐すると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ接続する複数本のヘッド側分岐チューブ122と、で構成されている。【選択図】 図10
請求項(抜粋):
ワークに機能液を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドに前記機能液を供給する機能液タンクと、
前記機能液タンクと前記複数の機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液供給チューブと、
前記機能液供給チューブに介設され、前記機能液タンクからバルブハウジング内の1次室に導入した機能液を、前記バルブハウジング内の2次室を介して前記複数の機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、大気に面し前記2次室の1つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、前記1次室と前記2次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、前記2次室を圧力調整する圧力調整弁と、を備え、
前記機能液供給チューブは、前記機能液タンクと前記1次室とを接続するタンク側チューブと、前記2次室と前記機能液滴吐出ヘッドとを接続するヘッド側チューブとを有し、
前記ヘッド側チューブは、前記2次室に接続した単一のヘッド側メインチューブと、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの直近で前記ヘッド側メインチューブから分岐すると共に、前記複数の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ接続する複数本のヘッド側分岐チューブと、で構成されていることを特徴とする機能液供給装置。
IPC (6件):
B05C 5/00
, B05C 11/10
, G02B 5/20
, H05B 33/10
, H01L 51/50
, B41J 2/175
FI (6件):
B05C5/00 101
, B05C11/10
, G02B5/20 101
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, B41J3/04 102Z
Fターム (32件):
2C056EA26
, 2C056KB04
, 2C056KB08
, 2C056KB11
, 2C056KB15
, 2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA55
, 2H048BA64
, 2H048BB41
, 2H048BB42
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA00
, 3K007FA01
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AA16
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F041BA34
, 4F041BA38
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AB00
, 4F042BA06
, 4F042CB07
, 4F042CB10
, 4F042CB19
引用特許:
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