特許

J-GLOBAL ID：200903051436453492

ステージ装置及び露光装置

発明者： 楊 暁峰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-021468
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217172
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 ステージが正逆いずれの方向に移動される場合であっても露光装置本体に生じる振動を十分に抑制することである。【解決手段】 レチクルや基板を載置する可動ステージと、該可動ステージを駆動する駆動装置とを備えたステージ装置において、駆動装置の固定子又はその支持部を付勢するアクチュエータを設け、制御装置により可動ステージを移動する際に発生する反力を相殺するようにアクチュエータによる付勢量を制御する。その際、ステージの移動方向を判断部66dにより判断して、演算部66aによるアクチュエータに対する指令値を、正方向に移動される場合にはその場合に最適なゲインK1 〜K6 で調整し、逆方向に移動される場合にはその場合に最適なゲインK1'〜K6'で調整するようスイッチ部66cにより切り換える。

請求項（抜粋）：

移動可能な可動ステージと、該可動ステージを駆動する駆動装置と、を備えたステージ装置において、前記ステージ装置を付勢するアクチュエータと、前記可動ステージの移動方向に応じて、前記アクチュエータの付勢量を変化させる制御装置とを備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G03F 7/22 H ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (23件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB03 ,  2F078CB04 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB12 ,  2F078CC11 ,  2F078CC15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA55 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC04 ,  5F046CC13 ,  5F046CC19