特許

J-GLOBAL ID：200903051437053781

液体蒸気原料の供給装置

発明者： 松田 隆幸
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-159099
公開番号（公開出願番号）：特開平6-002142
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【目的】 LSIの絶縁膜などを形成するための液体蒸気原料の供給装置において、気化器から反応室に供給される原料蒸気を精密に安定させることで、各液体蒸気原料の成分をSi、B、Pとしたときに、SiとBとPからなる均一性の良いBPSG膜を形成する。【構成】 液体蒸気原料2,4,6を貯蔵する第一のタンク32,34,36と、有機溶媒1,3,5を貯蔵する第二のタンク31,33,35と、前記第一及び第二のタンクに接続され前記液体蒸気原料と前記有機溶媒の混合液8,10,12を貯蔵する第三のタンク37,38,39と、前記第三のタンクの前記混合液を攪拌する手段20,24と、前記第三のタンクに接続されてこの第三のタンクから前記混合液の供給を受ける液体マスフローコントローラー44と、前記液体マスフローコントローラーに接続された気化器50とを備える。

請求項（抜粋）：

液体蒸気原料を貯蔵する第一のタンクと、有機溶媒を貯蔵する第二のタンクと、前記第一及び第二のタンクに接続され前記液体蒸気原料と前記有機溶媒の混合液を貯蔵する第三のタンクと、前記第三のタンクの前記混合液を攪拌する手段と、前記第三のタンクに接続されてこの第三のタンクから前記混合液の供給を受ける液体マスフローコントローラーと、前記液体マスフローコントローラーに接続された気化器とを備えることを特徴とする液体蒸気原料の供給装置。

IPC (2件)：

C23C 16/44 ,  H01L 21/31