特許

J-GLOBAL ID：200903051439381573

処理装置の真空排気システム

発明者： 荒見 淳一 ,  小美野 光明 ,  北村 昌幸
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284391
公開番号（公開出願番号）：特開平8-074737
出願日： 1994年10月24日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：

【要約】【目的】 システム全体の小型化及びコストダウンが図れる処理装置の真空排気システムを提供する。【構成】 処理室2に近接して接続された広域真空排気能力及び大排気速度を有する主ポンプ25と、この主ポンプ25の排気側に小径の補助配管26を介して接続された小排気速度を有する補助ポンプ27とを備えている。このように処理室2に近接して広域真空排気能力及び大排気速度を有する主ポンプ25を接続したので、排気特性の向上が図れると共に、主ポンプ25以降の補助配管26の小径化及び補助ポンプ27の小型化が図れる。また、そのように主ポンプ25の排気側に小径の補助配管26を介して小排気速度を有する補助ポンプ27を接続したので、システム全体の小型化及びコストダウンが図れる。

請求項（抜粋）：

処理室に近接して接続された広域真空排気能力及び大排気速度を有する主ポンプと、この主ポンプの排気側に小径の補助配管を介して接続された小排気速度を有する補助ポンプとを備えたことを特徴とする処理装置の真空排気システム。

IPC (3件)：

F04B 37/16 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-164581
  
• 管球排気装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-202901   出願人：株式会社島津製作所