特許
J-GLOBAL ID：200903051452930039
ガラス導波路素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-063392
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258442
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 機能的に十分な回折格子を形成してもヒータに損傷が生じないガラス導波路素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 ガラス導波路素子のヒータ13を含むオーバークラッド12の表面にさらにガラス膜14を形成し、ガラス膜14にヒータ13を埋め込むようにしたので、ひび割れや剥離が生じにくくなる。また、もしヒータ13が剥離してもガラス膜14内に保持されるため、破片が飛散して治具等を汚すことがない。従って光エネルギーを高くすることができる。二酸化珪素を主成分とするガラスは、回折格子を形成することができる波長の光に対してほとんど透明であり、ガラス膜があることによって回折格子形成の効率が低下することもない。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板或いは該基板に形成されたアンダークラッドの上に形成されたコアと、該コアの光の伝搬方向に沿って屈折率が周期的に変化するように光の照射によって形成された回折格子と、該回折格子及び上記コアを覆うオーバークラッドと、該オーバークラッドに設けられ上記回折格子のブラッグ波長を変化させるためのヒータとを備えたガラス導波路素子であって、該ヒータを含むオーバークラッドの上面に少なくとも二酸化珪素を主成分とするガラス膜が形成されていることを特徴とするガラス導波路素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 M
, G02B 6/12 H
