特許

J-GLOBAL ID：200903051453882640

ポジ型フォトレジスト組成物

発明者： 西 峰雄 ,  中野 浩二 ,  高田 芳宏
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-091176
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289331
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【構成】フェノール性化合物とケトン又はアルデヒド類との重縮合物であり、重量平均分子量が2500〜30000のアルカリ可溶性樹脂、フェノール性化合物とヒドロキシ芳香族アルデヒド類との重縮合物であり、重量平均分子量600〜2000の重縮合物のキノンジアジドスルホン酸エステル化物である感光性化合物及び溶剤からなるポジ型フォトレジスト組成物。【効果】本発明のフォトレジスト組成物は、感度及び解像力が良好な上、高耐熱性を有する。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド系感光性化合物および溶剤からなるポジ型フォトレジスト組成物において、?@アルカリ可溶性樹脂が、下記一般式[A]で示される少なくとも一種のフェノール性化合物と下記一般式[B-1]で示される少なくとも一種のケトン又はアルデヒド類との重縮合物[C-1]であり、上記重縮合物[C-1]のゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算重量平均分子量が、2500〜30000であり、かつ?Aキノンジアジド系感光性化合物が、下記一般式[A]で示される少なくとも一種のフェノール性化合物と下記一般式[B-2]で示される少なくとも一種のヒドロキシ芳香族アルデヒド類との重縮合物[C-2]のキノンジアジドスルホン酸エステル化物を主成分とし、上記重縮合物[C-2]のポリスチレン換算重量平均分子量が、600〜2000であることを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。【化1】【化2】【化3】(式中、R1は炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基又はヒドロキシル基を示し、R2及びR3はそれぞれ水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、アリール基又はアラルキル基を示し、R4は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1〜4のアルコキシ基を示し、lは0〜3の整数を、m及びnはそれぞれ1〜5の整数を示し、mとnの合計は5である。但し、l又はmが2以上の整数の場合、複数のR1又はR4はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。)

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027