特許
J-GLOBAL ID:200903051454834649
首振り運動光てこ駆動装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (5件):
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-254952
公開番号(公開出願番号):特開2006-071439
出願日: 2004年09月01日
公開日(公表日): 2006年03月16日
要約:
【課題】光線追尾式レーザ干渉測長装置において、光線走査範囲が広く小形の首振り運動光てこ駆動装置を提供する。【解決手段】円弧形モータ2個を可動子10が直交し、その交点が半球ミラー3の反射中心点に位置するように配置する。半球ミラー3を保持する三球球面座フレーム13を前記半球ミラー3によって走査される光線走査範囲を妨げない形状とし、モータの2軸動作を前記半球ミラー3に伝達するとともに半球ミラー3の球面部を三球球面座に設座させるためのバネ16を内蔵した動力伝達装置14〜18を備える。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光線追尾式レーザ干渉測長装置の首振り運動光てこ駆動装置において、半球ミラーの球面部を三球球面座に設座することによって構成した首振り運動光てこを駆動するため、2個の外側と内側の円弧形モータを可動子が直交するように配置して、その交点が前記半球ミラーの反射中心点に合致するように構成するとともに、前記半球ミラーを保持する三球球面座フレームを前記半球ミラーによって走査される光線走査範囲を妨げない形状にすることを特徴とする首振り運動光てこ駆動装置。
IPC (2件):
FI (4件):
G01B11/00 G
, G01B11/00 A
, G02B7/18 B
, G02B7/18 C
Fターム (17件):
2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065BB07
, 2F065BB25
, 2F065BB29
, 2F065DD02
, 2F065FF23
, 2F065FF51
, 2F065MM01
, 2F065MM16
, 2F065MM26
, 2F065PP03
, 2F065QQ29
, 2H043BB05
, 2H043BC04
, 2H043BC07
, 2H043BC08
引用特許:
引用文献: