スパッタリングターゲット

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147039
公開番号（公開出願番号）：特開2000-303171
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】ボンディングを必要としないスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】中央部に円筒状の凹部を設け該凹部側面に螺旋状のネジを切った円盤状のターゲットと、中央部に円柱状の突起を残して該ターゲットが入る大きさの凹部を設け、該突起の側面に螺旋状のネジが切ってあるバッキングプレートとを、各ネジ合わせによって接合する。

請求項（抜粋）：

中央部に円筒状の凹部を設け該凹部側面に螺旋状のネジを切った円盤状のターゲットと、中央部に円柱状の突起を残して該ターゲットが入る大きさの凹部を設け、該突起の側面に螺旋状のネジが切ってあるバッキングプレートとを、各ネジ合わせによって接合したことを特徴とするスパッタリングターゲット。

Fターム (3件)：

4K029CA05 , 4K029DC12 , 4K029DC22

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