作業テーブルの位置決め装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-313667
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134948
出願日： 1995年11月07日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】温度ドリフトがあっても所定の位置に作業テーブル(検査テーブル)を位置決めすることができる作業テーブルの位置決め装置を提供することにある。【解決手段】位置検出領域に亙る範囲の光束を照射する照射光源と、この照射光源からの光を受光する受光器と、この受光器と照射光源との間において位置検出領域の範囲で光束を片側から順次遮断する方向に移動する作業テーブルと、受光器の手前において前記の片側から光束の一部を遮断する遮蔽板とを備えていて、遮蔽板のみにより遮蔽されたときの受光器の検出電圧と作業テーブルが所定の位置に位置決めされたときの受光器の検出電圧との差値を求め、この差値により以後の作業テーブルの所定の位置への位置決めを行うものである。

請求項（抜粋）：

位置検出領域に亙る範囲の光束を照射する照射光源と、この照射光源からの光を受光する受光器と、この受光器と前記照射光源との間において前記位置検出領域の範囲で前記光束を片側から順次遮断する方向に横断移動する作業テーブルと、前記受光器の手前において前記片側から前記光束の一部を遮断する遮蔽板とを備え、前記遮蔽板のみにより遮蔽されたときの前記受光器の検出電圧と前記作業テーブルが所定の位置に位置決めされたときの前記受光器の検出電圧との差値を求めてこれを基準値として記憶し、前記作業テーブルの前記所定の位置への位置決めを前記遮蔽板のみにより遮蔽されたときの前記受光器の検出電圧と前記作業テーブルが前記横断移動しているときの前記受光器の検出電圧との差値を求めてこの差値が実質的に前記基準値になる位置に前記作業テーブルを位置決めする作業テーブルの位置決め装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , G01N 21/88 , G02B 7/28 , G03B 13/36 , H01L 21/66

FI (6件)：

H01L 21/68 F , H01L 21/68 K , G01N 21/88 E , H01L 21/66 J , G02B 7/11 H , G03B 3/00 A

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