特許
J-GLOBAL ID：200903051486770383
波長安定化He-Neレーザ光源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029070
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223840
出願日： 1996年02月16日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 高出力、減衰の少ない光を取り出せるHe-Neレーザ光源を提供。【解決手段】 ヒータ13を有し3周波を主成分として発振するレーザ管10と、そこからの出力光を分離する偏光ビームスプリッタ21と、共振器長可変手段33を有し前記分離された同一偏光面の2周波を入力とする光波長共振器30と、この出力光を電気信号に変換するフォトダイオード41と、光波長共振器の共振器長を周期的に変化させるのこぎり波発生回路51と、共振器長の変化に同期して2周波数の光強度信号を分離する信号処理手段60と、分離された光強度信号の比が一定になるようにヒータへの電力を制御する制御手段70とを備え、偏光ビームスプリッタ21で分離された中央の周波数の光を出力光として取出す。
請求項（抜粋）：
発振周波数を変化させるためにミラー間隔を変化させるミラー間隔可変手段を有し、隣接する3周波を主成分として発振するレーザ管と、このレーザ管からの出力光を偏光面によって分離し、中央の周波数の光を出力光として出力するとともに、周波数の上下の同一偏光面の2周波の光をモニター用として出力する偏光面分離手段と、共振器長可変手段を有し、前記偏光面分離手段によって分離された出力光のうちモニター用の2周波出力光を入力とする光波長共振器と、この光波長共振器からの出力光を電気信号に変換する光電変換手段と、前記共振器長可変手段に対して周期的信号を与え前記光波長共振器の共振器長を周期的に変化させる周期信号発生手段と、前記光波長共振器の共振器長の変化に同期して前記2周波の光強度電気信号を分離する信号処理手段と、この信号処理手段によって分離された光強度電気信号を比較し、その比が一定になるように前記レーザ管のミラー間隔可変手段を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする波長安定化He-Neレーザ光源。
IPC (3件)：
H01S 3/139
, H01S 3/105
, H01S 3/223
H01S 3/139
, H01S 3/105
, H01S 3/223 Z
