特許
J-GLOBAL ID:200903051489870990
金属窒化物粉末
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-514150
公開番号(公開出願番号):特表平8-504396
出願日: 1993年10月29日
公開日(公表日): 1996年05月14日
要約:
【要約】反応に関与しない雰囲気下で、Al、TiまたはZrの酸化物または水酸化物を含有する反応物粉末を反応温度まで加熱することによって金属窒化物粉末を生成することができる。加熱後の反応物粉末を、窒素源および炭素源を含有する反応混合ガスと接触させる。反応混合ガス中の窒素の炭素に対するモル比は、少なくとも約15である。反応物粉末の一部が金属窒化物粉末に転化するのに十分な時間、この反応物粉末を反応温度に保つ。
請求項(抜粋):
AlN粉末の製造方法であって、 (a)アルミニウム酸化物またはアルミニウム水酸化物を含有する反応物粉末を、反応に関与しない雰囲気下にて850°Cから1299°Cの反応温度まで加熱するステップと、 (b)加熱した反応物粉末を、窒素源および炭素源を含有して炭素に対する窒素のモル比が少なくとも約15である反応混合物ガスと接触させるステップと、 (c)反応物粉末の一部がAlN粉末に転化するのに十分な時間、この反応物粉末を反応温度に保つステップと、を有することを特徴とする方法。
IPC (2件):
C01B 21/072
, C01B 21/076
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