レーザ加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-062715
公開番号（公開出願番号）：特開平9-253878
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】パルスレーザ光毎にパルスエネルギーをモニタリングできるようにしてパルスエネルギーが低下した場合にはこれを補償できるようなレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 1個当たりのパルスエネルギーを検出するためのエネルギーモニタ17をパルスレーザ光の光路中に設ける。エネルギー比較回路18は、加工条件に応じてパルスエネルギーに関するスレッシュホールド値を設定することができ、設定されたスレッシュホールド値と前記エネルギーモニタで検出されたパルスエネルギーとを比較して前記パルスエネルギーの方が低い時に検出信号を出力する。トリガパルス発生器19は、このエネルギー比較回路からの検出信号を受けるとレーザ発振器11にトリガパルスを出力して該レーザ発振器から追加のパルスレーザ光を発生せしめる。

請求項（抜粋）：

パルスレーザ光を発生するレーザ発振器と、前記パルスレーザ光を導く光路中に設けられて1個当たりのパルスエネルギーを検出するためのエネルギーモニタと、加工条件に応じてパルスエネルギーに関するスレッシュホールド値を設定することができ、設定されたスレッシュホールド値と前記エネルギーモニタで検出されたパルスエネルギーとを比較して前記パルスエネルギーの方が低い時に検出信号を出力するエネルギー比較部と、このエネルギー比較部からの検出信号を受けると前記レーザ発振器にトリガパルスを出力して該レーザ発振器から追加のパルスレーザ光を発生せしめるトリガパルス発生部とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/00 , B23K 26/08 , H05K 3/00

FI (4件)：

B23K 26/00 N , B23K 26/00 M , B23K 26/08 N , H05K 3/00 N

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