特許
J-GLOBAL ID：200903051495843423
集束イオンビームによるイオン励起型X線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-172249
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013012
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】表面から数原子層の組成に関する情報を優先的に検出する。【構成】細く絞ったイオンビーム1を試料表面2に照射し、像観察を行なうFIB部3と、発生した特性X線4をスリット5を通して試料の全反射臨界角φcritと同じ取り出し角を有すように配設されたX線検出器6から構成される。臨界角φcrit方向に置いたX線検出器によって検出される特性X線は表面横方向に発生した特性X線のみとなり、試料のごく表面に存在する原子のみを高精度に分析することができる。
請求項（抜粋）：
細く絞ったイオンビームを試料上で走査するイオンビーム照射系と、イオン衝撃により試料表面から発生する特性X線を検出するX線検出器を有し、かつ試料におけるX線の全反射臨界角の方向に前記X線検出器を配設して成ることを特徴とする集束イオンビームによるイオン励起型X線分析装置。
IPC (3件)：
H01J 37/252
, G01N 23/225
, H01J 37/244
