特許
J-GLOBAL ID：200903051496558684
光磁気記録媒体の製作方法及び製作装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
今間 孝生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189893
公開番号（公開出願番号）：特開平6-004921
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 生産性の高い光磁気ディスクの製法及び製作装置を得る。【構成】 それぞれ所定の材料のターゲット83,84を装着してある複数のスパッタリングカソード81,82を所定の配置態様で固着したターンテーブル89を、真空外囲器中のスパッタリング室A内で常時回転させておき、ターゲット材料がスパッタリングされるべき基板1を外気中で基板保持体Cに装着してから、それを予備排気室Bを経てスパッタリング室A内の所定の位置まで移動して、その位置で静止状態の基板1に対して、回転しているカソード83,84に備えてあるターゲット83,84の材料をスパッタリングによって成膜する。それにより基板保持体Cに対する基板1の着脱機構が簡単なもので良く、基板1の着脱時間が短く、さらに基板の内外周に設ける基板の露出部の形成のためのマスク部材としても構成の簡単なものが使用でき、光磁気ディスクの製作能率を著るしく向上することを可能にする。
請求項（抜粋）：
それぞれ所定の材料のターゲットを装着してある複数のスパッタリングカソードが所定の配置態様で固着されている回転支持台を、真空外囲器中のスパッタリング室内で常時回転させておく工程と、開閉自在な気密保持部材を介して前記したスパッタリング室と隣接して設けられている予備排気室を、前記した気密保持部材によってスパッタリング室と予備排気室とが遮断されている状態において予備排気室を外気中に開放し、基板保持体における基板の装着部を外気中に露出させる工程と、外気中で前記した基板保持体における基板の装着部に基板を装着する工程と、基板保持体に装着された前記の基板が予備排気室内に収納された状態で所定の真空度となるように予備排気室を排気する工程と、気密保持部材を移動させてスパッタリング室と予備排気室とを連通させた後に、基板保持体を変位させて基板をスパッタリング室内の所定の位置で静止状態に保持させる工程と、前記した各スパッタリングカソードに供給する電力の大きさと供給時間長とを個別のスパッタリングカソード毎に独立に制御して基板に対してスパッタリングを行なう工程と、基板保持体によりスパッタリング室外に移動させた後に、気密保持部材によりスパッタリング室と予備排気室とを遮断状態にする工程と、予備排気室を外気中に開放し、基板保持体に装着されていた基板を取り外ずす工程とからなる光磁気記録媒体の製作方法。
IPC (2件)：
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