特許

J-GLOBAL ID：200903051499423852

スパッタリング装置のターゲット消費量推算方法

発明者： 大網 雅人
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-065559
公開番号（公開出願番号）：特開平8-260142
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】スパッタリング装置におけるターゲットの実際の消費量を高精度に推算できるようにする。【構成】スパッタリング装置1内のターゲット6に電圧印加装置7が供給する電圧及び電流を検出する電圧計8及び電流計9を設ける一方で、スパッタリング装置1内に導入される混合ガス中におけるN2 の体積比xを所定の演算式に代入してターゲット消費係数yを演算する係数演算装置11が設けられていて、係数演算装置11が演算したターゲット消費係数yも消費量推算装置10に供給されるようになっている。消費量推算装置10は、電圧値V及び電流値Aから電力を演算し、その電力に処理時間を掛けて電力量を演算し、その電力量とからターゲットの基本消費量を求め、その基本消費量にさらにターゲット消費係数yを乗じることによりターゲット消費量を推算する。

請求項（抜粋）：

スパッタリング装置のターゲットの消費量を推算する方法であって、前記スパッタリング装置内に導入されるガスの成分比に応じてターゲット消費係数を決定し、そのターゲット消費係数と、スパッタリング実行中の電力量とに基づいて、前記ターゲットの消費量を推算することを特徴とするスパッタリング装置のターゲット消費量推算方法。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

C23C 14/34 U ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/31 D