特許
J-GLOBAL ID：200903051500898789
半導体レーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208658
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045912
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 モニター用フォトダイオードを有する半導体レーザ装置において、フォトダイオードからレーザダイオードにリーク電流が流れるのを防止する。【構成】 フォトダイオードPDを形成するp- 型エピタキシャル成長層2のうちのn+ 型半導体領域3とn+ 型半導体領域4との間の部分にp+ 型半導体領域12からなるチャンネルストッパーを設ける。チャンネルストッパーとしては、溝の内部を絶縁物で埋め込んだものを用いてもよい。
請求項（抜粋）：
第1導電型の半導体基板と、上記半導体基板中に互いに離れて形成された第2導電型の第1の半導体領域および第2の半導体領域と、上記半導体基板上に形成され、かつ上記第2の半導体領域に対応する部分に開口を有する絶縁膜と、上記絶縁膜の上記開口を通じて上記第2の半導体領域に接続され、かつ上記第1の半導体領域と上記第2の半導体領域との間の部分における上記絶縁膜上に延在する電極と、第1導電型側が上記電極に接続されるように上記電極上に載置されたレーザダイオードとを有し、上記半導体基板と上記第1の半導体領域とにより上記レーザダイオードの出力光のモニター用フォトダイオードが形成され、上記レーザダイオードおよび上記モニター用フォトダイオードのうちの一方のアノードと他方のカソードとが接続されて一つの端子とされた半導体レーザ装置において、上記半導体基板のうちの上記第1の半導体領域と上記第2の半導体領域との間の部分に第1導電型の半導体領域からなるチャンネルストッパーが設けられていることを特徴とする半導体レーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/18
, G11B 7/125
, H01L 27/15
