特許
J-GLOBAL ID：200903051501602816
感光性エレメント、感光性エレメントロール、これを用いたレジストパターンの製造法、レジストパターン、レジストパターン積層基板、配線パターンの製造法及び配線パターン
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津国 肇 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000004028
公開番号（公開出願番号）：WO2000-079344
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2000年12月28日
要約：
【要約】本発明は、二軸配向ポリエステルフィルム及びその一方の面に感光性樹脂組成物の層を有する支持フィルムから成る感光性エレメントにおいて、該支持フィルムの前記感光性樹脂組成物層を形成した面とは反対の面に微粒子を含有する樹脂層を有し、前記感光性樹脂組成物が、(A)カルボキシル基含有バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性エレメント、感光性エレメントロール、これを用いたレジストパターンの製造法、レジストパターン、レジストパターン積層基板、配線パターンの製造法及び配線パターンを提供する。
請求項（抜粋）：
二軸配向ポリエステルフィルム及びその一方の面に感光性樹脂組成物の層を有する支持フィルムから成る感光性エレメントにおいて、 該支持フィルムの前記感光性樹脂組成物層を形成した面とは反対の面に微粒子を含有する樹脂層を有し、前記感光性樹脂組成物が、(A)カルボキシル基含有バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性エレメント。
IPC (5件)：
G03F 7/004 512
, G03F 7/027 502
, G03F 7/033
, G03F 7/09 501
, H05K 3/06
G03F 7/004 512
, G03F 7/027 502
, G03F 7/033
, G03F 7/09 501
, H05K 3/06 J
