特許
J-GLOBAL ID:200903051507846261

流量センサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-209707
公開番号(公開出願番号):特開平9-053968
出願日: 1995年08月17日
公開日(公表日): 1997年02月25日
要約:
【要約】【課題】発熱用抵抗体への異物付着による測定精度の劣化状況を診断する機能を備えた流量センサを提供する。【解決手段】発熱用抵抗体RHと並列にスイッチング素子S1と抵抗素子RSの直列回路を設け、前記スイッチング素子S1を導通させて、発熱用抵抗体部の抵抗値を強制的に変化させるとともに、この抵抗値の変化前後の出力電圧値を比較するための信号処理回路が設けられている。信号処理回路は、遅延回路A,B、サンプルホールド回路C,D、差分回路E、比較回路F及び論理積回路Gを備えて構成されている。
請求項(抜粋):
ブリッジ回路を構成する発熱用抵抗体を流体中に配設し、前記流体の流量に対応した前記発熱用抵抗体の放熱を利用して流体の流量を検知する流量センサであって、前記ブリッジ回路の発熱用抵抗体部の抵抗値を強制的に変化させる手段が設けられ、前記発熱用抵抗体部の抵抗値を変化させる直前と変化させた直後の出力電圧値を比較して、前記発熱用抵抗体への異物付着による流量測定精度の劣化状況を診断する機能を備えていることを特徴とする流量センサ。
IPC (2件):
G01F 1/68 ,  G01P 5/12
FI (2件):
G01F 1/68 ,  G01P 5/12 A

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