特許

J-GLOBAL ID：200903051508226437

ダイヤモンド薄膜工具の製造方法

発明者： 亀岡 誠司 ,  池田 孜 ,  佐藤 俊樹 ,  高山 裕次
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318352
公開番号（公開出願番号）：特開平5-125542
出願日： 1991年11月05日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】 複雑な処理工程を経ることなく、母材とダイヤモンド薄膜との密着性の優れたダイヤモンド薄膜工具を提供する。【構成】 少なくとも表面部がセラミックスを主要構成素材として形成される工具母材に気相合成法によってダイヤモンド薄膜を形成してダイヤモンド薄膜工具を製造するに当たり、前記工具母材表面に金属Siを下地層として形成した後、励起した炭素含有ガスを該下地層表面に接触させることによってダイヤモンドを主体とする薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面部がセラミックスを主要構成素材として形成される工具母材に気相合成法によってダイヤモンド薄膜を形成してダイヤモンド薄膜工具を製造するに当たり、前記母材表面に金属Siを下地層として形成した後、励起した炭素含有ガスを該下地層表面に接触させることによってダイヤモンドを主体とする薄膜を形成することを特徴とするダイヤモンド薄膜工具の製造方法。

IPC (6件)：

C23C 16/26 ,  B23B 27/14 ,  B23B 27/20 ,  B23P 15/28 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/50