特許
J-GLOBAL ID：200903051513100697
バンプ検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048854
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251535
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明はバンプ検査装置に関し、バンプ検査を正確に、かつ、高速に行うバンプ検査装置を提供することを目的としている。【構成】 プリント板にバンプ接合した所定部材を計測対象物Sとし、該計測対象物SにX線を照射するX線照射手段1と、該計測対象物を透過したX線から該検査対象物におけるバンプの形状を示すX線透視画像を生成する画像生成手段24と、該X線透視画像から全てのバンプにおけるバンプ中心位置を検出する中心位置検出手段21と、該中心位置検出手段21によって検出されたバンプ中心位置に基づいて検査対象となるバンプの近傍領域におけるX線透視画像を加算し、該近傍領域における基準バンプを設定する基準バンプ設定手段と、該計測対象物S中の検査対象となるバンプの形状と、該バンプの存在する領域における該基準バンプの形状とを比較し、バンプ形状の良否を判定する形状判定手段とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
プリント板にバンプ接合した所定部材を計測対象物とし、該計測対象物にX線を照射するX線照射手段と、該計測対象物を透過したX線から該検査対象物におけるバンプの形状を示すX線透視画像を生成する画像生成手段と、該X線透視画像から全てのバンプにおけるバンプ中心位置を検出する中心位置検出手段と、該中心位置検出手段によって検出されたバンプ中心位置に基づいて検査対象となるバンプの近傍領域におけるX線透視画像を加算し、該近傍領域における基準バンプを設定する基準バンプ設定手段と、該計測対象物中の検査対象となるバンプの形状と、該バンプの存在する領域における該基準バンプの形状とを比較し、バンプ形状の良否を判定する形状判定手段と、を備えることを特徴とするバンプ検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, H01L 21/321
